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| 名稱 | 臺階儀 | 編號 | 儀器編號 |
| 品牌/廠家 | KLA-Tencor | 型號/規(guī)格 | Alphastep D-120 |
AlphaStep輪廓儀配置自動臺，采用了新型光學(xué)反射探測系統(tǒng)來測量高度，同時應(yīng)用電磁力控制探針壓力，能有效的實現(xiàn)超微力和低慣量 。這些創(chuàng)新型使表面輪廓儀能夠無傷測量軟薄膜樣品。
1. 樣品臺直徑：200mm
2. 掃描長度范圍：30mm
3. 分辨率：橫向100nm，垂直0.38埃
4. 垂直測量范圍：10埃至1.2mm
產(chǎn)品應(yīng)用
發(fā)展系列探針輪廓儀是一臺計算機(jī)控制的高靈敏的表面輪廓儀，可測量臺階高度，粗糙度和波紋度，及許多其他應(yīng)用。
樣品要求直徑≤200mm、厚度≤30mm，樣品襯底盡量平整。
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